一、半導體真空烘箱箱體規格：

1.箱體結構：連體式，真空泵置于機臺下部；

2.隔層：內分二層，配網板二塊，可活動抽出；

3.面板安裝：控制面板安裝于機臺下方；

4.開門方式：單由右至左開啟;

5.可視窗：門上帶可視窗，規格W250×H300mm； 

6.內箱材料為：304#不銹鋼工業板；內箱加強處理，抽真空不變形；

7.外箱材料為：冷軋鋼板,厚1.2mm,表面烤漆處理；

8.保溫材質為：耐高溫巖棉，保溫層厚100mm，保溫效果好；

9.安裝帶剎車活動腳輪，可任意推動；

二、半導體真空烘箱控溫系統：

2.1 溫度控制為PID數顯儀表（中國臺灣臺松儀表），單點式控溫,可自動演算，PV/SV同時顯示，按鍵設定，可設定常溫到zui高溫度之間的任意溫度值；

2.2 定時器設定，0.1秒－999時（可選擇設定小時、分鐘、秒）

2.3 溫到計時，時間至切斷加熱電流 (報警裝置) （中國臺灣YANGMING）

2.4 感溫線為（K）型；

2.5 輸出為3-32V；

2.6 電流控制器為SSR+PID無接點；

2.7 升溫速率：RT～100℃（約30分鐘）

2.8 采用三面加熱的熱輻射的方式；

2.9 加熱體為耐高溫發熱管；

2.10 溫度范圍：常溫～300℃

2.11 控制精度：±0.5℃        

2.12 顯示精度：0.1℃

2.13 箱內溫度均勻度：±8℃%(無真空時，空箱測試)

三、密封及真空：

3.1 本機采用高密封性的硅膠密封條保障整機的密封性；

3.2 采用數顯式真空表直接顯示內箱真空度，讓你即時了解箱體內的真空狀態，真空度達到0－-0.1Mpa (即:100pa真空度)

3.3 真空表帶上、下限控制功能，可控制真空泵自動抽真空到上限設定值，自動停止；低到下限值自動啟動，以此循環使用；地區不同顯示真空度值不相同；

3.4 真空度: 0～-101KPa（數顯式負壓真空表，顯示相對壓力值）

3.5 壓力波動：≤5%

3.6 真空表顯示精度：0.1KPa

3.7 真空保壓泄漏率：約0.8KPa每小時

3.8 解壓方式：手動卸壓，直接充入環境空氣

3.9 真空泵配置：直連式真空泵